Fotolitografi, geometrik desenleri bir filme veya alt tabakaya aktarmak için mikrofabrikasyonda kullanılan bir işlemdir. Bir yarı iletken üzerindeki geometrik şekiller ve desenler, katkı maddelerinin, elektriksel özelliklerin ve tellerin bir devreyi tamamlamasına ve teknolojik bir amacı gerçekleştirmesine izin veren karmaşık yapıları oluşturur.
Fotolitografi işlemi nedir?
Optik litografi veya UV litografisi olarak da adlandırılan fotolitografi, ince bir film veya bir alt tabaka (wafer olarak da adlandırılır) yığını üzerindeki parçaları modellemek için mikrofabrikasyonda kullanılan bir işlemdir. … Karmaşık entegre devrelerde, bir CMOS levha fotolitografik döngüden 50 defa geçebilir.
Mikrofabrikasyon süreci nelerdir?
Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçeklerinde ve daha küçük boyutlarda minyatür yapılar üretme sürecidir. … Mikrofabrikasyonun temel kavramları ve ilkeleri mikrolitografi, doping, ince filmler, dağlama, yapıştırma ve cilalamadır.
Yarı iletkenlerde litografi işlemi nedir?
Yarı iletken bir litografi sistemi, büyük bir cam plakadan yapılmış bir fotoğraf maskesi üzerine çizilen son derece karmaşık devre desenlerinin ultra yüksek performanslı lensler kullanılarak indirgendiği ve bir gofret. …
İmalat sürecinde litografi nedir?
Litografibir maskedeki geometrik şekillerin desenlerini yarı iletken bir levhanın yüzeyini kaplayan radyasyona duyarlı ince bir malzeme tabakasına aktarma işlemi (direnç olarak adlandırılır). Şekil 5.1, IC üretiminde kullanılan litografik süreci şematik olarak göstermektedir.
