Fotolitografi, bir deseni bir maskeden bir gofrete aktarmak için üç temel işlem adımını kullanır: kaplama, geliştirme, açığa çıkarma. Desen, sonraki bir işlem sırasında gofretin yüzey katmanına aktarılır. Bazı durumlarda, direnç deseni, biriktirilmiş ince bir film için deseni tanımlamak için de kullanılabilir.
Fotolitografi nedir? Nasıl çalışır?
Fotolitografi, ışığa duyarlı bir polimerin bir maske aracılığıyla seçici olarak ışığa maruz bırakıldığı bir modelleme işlemidir, polimerde gizli bir görüntü bırakarak, daha sonra desenli bir görünüm sağlamak için seçici olarak çözülebilir temel bir alt tabakaya erişim.
Fotolitografi neden kullanılır?
Fotolitografi, mikrofabrikasyonun en önemli ve en kolay yöntemlerinden biridir ve bir malzemede ayrıntılı desenler oluşturmak için kullanılır. Bu yöntemde, ışığa duyarlı bir polimerin ultraviyole ışığa seçici olarak maruz bırakılması yoluyla bir şekil veya desen kazınabilir.
Fotolitografide neden UV ışığı kullanılır?
Fotolitografi hücre içeren prepolimeri UV ışığı altında çapraz bağlayarak hidrojeller içinde hücrelerin 3D kapsüllenmesine olanak tanır. İstenilen deseni elde etmek için bir fotomaske kullanılır [88].
Fotolitografi gereksinimleri nelerdir?
Genel olarak, bir fotolitografi işlemi üç temel malzeme, ışık kaynağı, fotoğraf maskesi ve fotorezist gerektirir. Fotorezist, ışığa duyarlı bir malzeme,olumlu ve olumsuz olmak üzere iki türü vardır. Pozitif fotorezist, bir ışık kaynağına maruz kaldıktan sonra daha çözünür hale gelir.
Photolithography: Step by step
