Fotolitografi yaygın olarak bilgisayar çipleri üretmek için kullanılır. Bilgisayar çipleri üretilirken, alt tabaka malzemesi, dirençli bir kaplanmış silikon yonga levhasıdır. Bu işlem, yüzlerce çipin aynı anda tek bir silikon gofret üzerine inşa edilmesini sağlar.
Fotolitografi nasıl yapılır?
Fotolitografi, bir deseni bir maskeden bir gofrete aktarmak için üç temel işlem adımını kullanır: kaplama, geliştirme, açığa çıkarma. Desen, sonraki bir işlem sırasında gofretin yüzey katmanına aktarılır. Bazı durumlarda, direnç deseni, biriktirilmiş ince bir film için deseni tanımlamak için de kullanılabilir.
Neden fotolitografi deniyor?
Yarı İletken Litografi (Fotolitografi) - Temel Süreç . Bir entegre devrenin (IC) üretimi, bir yarı iletken (örn., silikon) substrat üzerinde gerçekleştirilen çeşitli fiziksel ve kimyasal işlemler gerektirir. … Litografi kelimesi, Yunanca taş anlamına gelen litos ve yazmak anlamına gelen graphia kelimelerinden türetilmiştir.
Litografi neden önemlidir?
Litografi, bir maskedeki geometrik şekillerin desenlerini yarı iletken bir levhanın yüzeyini kaplayan radyasyona duyarlı ince bir malzeme tabakasına (direnç olarak adlandırılır) aktarma işlemidir. Şekil 5.1, IC üretiminde kullanılan litografik süreci şematik olarak göstermektedir.
Litografik yöntemlerde en yaygın kullanılan yöntem hangisidir?
Optiklitografi, bir görüntünün silikon gofret gibi bir substrat üzerine kaplanmış ışığa duyarlı bir emülsiyona (fotorezist) yansıtılmasından oluşan foton tabanlı bir tekniktir. Yarı iletken endüstrisi tarafından yüksek hacimli nano elektronik üretiminde en yaygın olarak kullanılan litografi işlemidir.
