Dengesiz bir Magnetron püskürtmede, plazma da alt tabakaya çekilir ve argon iyonları da büyüyen ince filmi bombalar. … Substratın etrafındaki elektronların varlığı, nötr gaz atomlarının iyonlaşmasına ve plazmanın bu bölgeye nüfuz etmesine yol açar.
Bir magnetron neden sıçrar?
Magnetron püskürtme, elektronları yakalamak için kapalı bir manyetik alan kullanır, ilk iyonizasyon işleminin verimliliğini arttırır ve plazmayı daha düşük basınçlarda oluşturur, büyümede hem arka plan gazının birleşmesini az altır gaz çarpışmaları yoluyla saçılan atomdaki film ve enerji kayıpları.
Manyetron püskürtme için ne uygulanabilir?
5 Magnetron püskürtme birikimi. Magnetron püskürtme, metaller ve seramikler dahil olmak üzere birçok malzeme türünün, özel olarak şekillendirilmiş bir manyetik kullanarak çok sayıda alt tabaka malzemesi üzerine biriktirilmesine izin veren yüksek hızlı bir vakum kaplama tekniğidir. diyot püskürtme hedefine uygulanan alan.
Kapalı alan dengesiz magnetron püskürtme nedir?
Teer Coatings Ltd tarafından geliştirilen Kapalı Alan Dengesiz Magnetron Sputter İyon Kaplama sistemi, mükemmel yapışma ile yoğun, sert kaplamaların birikmesine izin veren optimize edilmiş kaplama koşulları üretir. CFUBMSIP düzenlemesi, Teer Coatings Ltd.'ye verilen patentler kapsamındadır.
Dengesiz magnetron nedir?
Manyetronlar genellikle 'dengeli' veya 'dengesiz' olarak sınıflandırılır. … Sıfır noktası hedef yüzeye yakınsa, elektronlar daha kolay kaçabilir ve magnetron dengesizdir. Dengesiz tasarımlar, biriktirme ile aynı zamanda ince filmin yüksek iyon bombardımanına neden olabilir.
